景氣復甦看電子特氣 "氖"

從工業氣體的產業鏈看, 上游原材料是空氣, 工業廢氣, 基礎化學原料等, 同時包括氣體生產設備, 存儲設備, 運輸設備等, 下游應用領域包括集成電路, 液晶面板, LED, 光纖通信, 太陽能, 醫療健康, 節能環保, 新材料, 新能源等.

 大宗氣體與電子特氣的主要區別在於氣體的品種, 氣體用量, 應用環節, 供應模式, 合作期限, 純度要求等方面. 大宗的用量較大, 一般要求全時供應, 因此常以現場制氣的方式由氣體公司向半導體企業供應; 電子特氣品類多但單一用量小, 因此採用零售供氣方式供應.

特種氣體是指運用在特定領域中, 對產品種類, 純度, 配方, 性質等有特殊要求的氣體 (純度一般大於 5N), 根據純度和應用領域的不同, 特種氣體又可以分為電子特氣, 醫療氣體, 標準氣體等. 電子特氣廣泛應用於半導體, 平板顯示及其它電子產品的生產過程.

按照功能劃分, 電子特氣可以劃分為稀釋氣體, CVD氣體, 蝕刻氣體, 摻雜氣體, 外延氣體, 離子注入氣體等. 按照下游需求劃分, 電子特氣可以劃分為平板顯示用氣體, 半導體用氣體, 太陽能電池用氣體和 LED用氣體.

電子特氣作為電子加工行業核心原材料, 其第一核心要素為超高潔凈度和超低雜質含量, 因而它對原料, 純化方法, 配方工藝, 容器, 生產設備, 環境控制, 測試和運輸設備等都有極為嚴格的要求, 控制電子特氣中各種雜質的濃度成為考量電子特氣性能一項非常重要的指標. 

前瞻產業研究院數據顯示, 從全球來看, 電子特種氣體應用於集成電路行業的需求占市場總需求的71%, 應用於顯示面板行業的需求占市場總需求的 18%. 從中國來看, 電子特種氣體應用於集成電路行業的需求占市場總需求的 42%, 應用於顯示面板行業的需求占市場總需求的 37%.

電子氣體包括大宗氣體和特種氣體, 是指在電子工業中應用的高純度氣體, 主要用於集成電路, LED, 顯示面板, 太陽能等電子領域的生產過程中, 其中集成電路制造涉及上千道工序, 工藝極其複雜, 需使用上百種電子特氣. 

電子特氣作為晶片加工的 "血液", 基本貫穿晶圓制造全流程, 具體包括生產外延片, 清洗, 沈積和氧化成膜, 光刻, 刻蝕, 摻雜 (離子注入/擴散) 等環節, 各環節特氣純度均會對最終出廠晶圓的精度和性能造成影響, 因此半導體領域對特氣純度和精度要求較高.

光刻即在矽片表面覆蓋一層具有高度光敏感性光刻膠, 再用紫外透過掩模照射在矽片表面, 被光線照射到的光刻膠會發生反應形成交聯結構, 此後用特定溶劑洗去被照射.光刻過程中一般用到的電子特氣為光刻混合氣(Ar/F/Ne, Kr/Ne, Ar/Ne, Kr/F/Ne 混合氣等).

烏克蘭主要供應氖, 氬, 氪, 氙等氣體, 其中氖氣的供應是全球市場主導者. 市場調研機構Techcet發布的報告顯示, 烏克蘭氖氣 (Ne) 的全球供應份額達 70%. 光刻氣體是光刻機產生激光的光源, 而氖氣是光刻混合氣體中的必要氣體, 難以取代.

電子特氣廠商可分為全球電子氣體巨頭, 國外電子特氣廠商和國內電子特氣廠商三類. 第一類為國際電子氣體巨頭, 該類廠商同時從事電子特氣和電子大宗氣體業務, 其中林德, 法液空, 大陽日酸和空氣化工四大企業市占率超 70%. 

 
國內概念股有 "晶呈"   (特氣占比 95%, 氖混氣市占率已超過雙位數, 並持續擴大中. 晶圓再生是加工服務),  "華立" (材料供應商, 含 PCB/光電/半導體等), "中鋼"  (主要仍為熱軋鋼品/冷軋鋼等, 去年投資6億餘元進行氧氣工場增設生產氖氣設備計畫).